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最大真空度1400L/s ~ 3000L/s抽速CXF-200/1401無(wú)油磁懸浮分子泵
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電磁軸承也稱為“主動(dòng)磁懸浮熊”，由磁浮軸承、傳感器和控制系統(tǒng)組成。這種設(shè)計(jì)具有動(dòng)態(tài)響應(yīng)和及時(shí)調(diào)整，軸系高速且運(yùn)行可靠。
磁懸浮分子泵是借助磁力支撐軸系的泵。
系列磁懸浮分子泵是KYKY為滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造、芯片制造、工業(yè)電鍍和科學(xué)儀器等領(lǐng)域的應(yīng)用要求而開(kāi)發(fā)的真空發(fā)生設(shè)備。
優(yōu)點(diǎn):
1. 運(yùn)行時(shí)零摩擦，功耗低
2. 易于獲得真正清潔的高真空和超高真空，無(wú)需潤(rùn)滑泵
3.能長(zhǎng)期抽吸腐蝕性氣體
4. 由于精密陶瓷球保護(hù)軸承，安全性高，使用壽命長(zhǎng)
5. 具有突然斷電時(shí)的發(fā)電功能
技術(shù)：
?磁浮軸承控制技術(shù)：采用的電磁是5軸磁懸浮。該設(shè)計(jì)采用基于國(guó)際先進(jìn)控制理論的動(dòng)態(tài)主動(dòng)閉路磁懸浮控制技術(shù)，具有動(dòng)態(tài)響應(yīng)和及時(shí)調(diào)整，保證了高速軸系懸浮穩(wěn)定、運(yùn)行可靠的顯著優(yōu)勢(shì)。
?電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)：串聯(lián)磁懸浮泵采用高效高速直流電機(jī)和伺服控制系統(tǒng)，使電機(jī)具有最大能量并自動(dòng)補(bǔ)償軸系轉(zhuǎn)速，從而實(shí)現(xiàn)動(dòng)能穩(wěn)定啟動(dòng)、可靠運(yùn)行和動(dòng)能自動(dòng)調(diào)節(jié)功能。
?碳纖維復(fù)合轉(zhuǎn)子技術(shù)：串聯(lián)磁懸浮分子泵的渦輪轉(zhuǎn)子由高強(qiáng)度鋁合金和輕質(zhì)碳纖維復(fù)合而成。與所有鋁合金轉(zhuǎn)子相比，渦輪轉(zhuǎn)子具有重量減輕大、強(qiáng)度提高大的特點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了高轉(zhuǎn)速、高性能、高可靠性的目標(biāo)。
?耐腐蝕技術(shù)：串聯(lián)磁懸浮分子泵腔室中的零件表面經(jīng)過(guò)特殊工藝處理，使表面能夠長(zhǎng)期抵抗半導(dǎo)體制造過(guò)程中腐蝕性氣體引起的腐蝕。此外，在泵的軸上完全填充N2等惰性氣體，以保護(hù)泵中的低真空部件，從而實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定排出腐蝕性氣體的功能。
?加熱溫度控制系統(tǒng)：系列磁懸浮分子泵配有電加熱器和溫度控制器，使冷卻水、氣骨加熱、電加熱和保護(hù)氣體攜帶的熱量在運(yùn)行過(guò)程中得到監(jiān)測(cè)和控制，泵內(nèi)溫度可長(zhǎng)期保持在一定值，部分氣態(tài)物質(zhì)常溫下不轉(zhuǎn)化為固體物質(zhì)，不沉積在泵內(nèi)， 并且可以滿足蝕刻等特殊工藝的要求。
應(yīng)用程序:
系列磁懸浮分子泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、夾片制造、工業(yè)電鍍、科學(xué)儀器等領(lǐng)域，特別適用于萃取蝕刻、CVD、PVD、離子注入等腐蝕性氣體及常溫下易凝固氣體。
