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HiPace 800 H渦輪分子真空泵
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HiPace 800 H渦輪分子真空泵
技術(shù)規(guī)格ISO
抽速
市場(chǎng)和應(yīng)用
分析及實(shí)驗(yàn)室
高能物理，超高真空
半導(dǎo)體應(yīng)用
PVD檢驗(yàn)與計(jì)量
金屬和高 K 蝕刻
LPCVD / 擴(kuò)散光刻技術(shù)
氧化物蝕刻，剝離 / 灰化
ALDPECVDSi Poly etch
Load lock 和 傳輸輕沉積離子注入
配件
· 電氣適配器
· 電源線
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· 各種現(xiàn)場(chǎng)總線系統(tǒng)
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